​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對外表層物質去（qù）除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加工（gōng）精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模（mó）集成電路的製版即使采用電子束（shù）對掩膜上的光（guāng）致（zhì）抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合（hé）(或分解（jiě）)，再用（yòng）顯影劑把聚合過的（de）或未（wèi）聚合過的（de）部分溶解掉，製成掩膜。電子束（shù）曝射製版必要采用（yòng）工作台定（dìng）位精度高達±0.01微米的超精密加（jiā）工設備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等（děng）。在超精密車床上用（yòng）通過精細研（yán）磨的單晶金剛石車（chē）刀舉行微量車削,切削厚度僅1微（wēi）米左右，常用於加工有色金（jīn）屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外（wài）表高度光潔的零件（jiàn）。例如加（jiā）工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射（shè）鏡，高精度可達0.1微米，外表（biǎo）粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工（gōng）精度以納米，甚至（zhì）後以原子單位(原子晶格距離（lí）為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件加工的方法，即應用化（huà）學能、電化學能（néng）、熱能或電能等，使這些能量超越原子間（jiān）的聯合能（néng），從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化（huà）學拋光、離子濺射和離子注入、電子（zǐ）束曝射、激光（guāng）束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。