​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密（mì）零配件加工方法（fǎ）的（de）特點（diǎn）是對（duì）外表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加（jiā）工精度，仍有賴於精密（mì）的加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集（jí）成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致（zhì）抗蝕劑的原子在（zài）電子撞擊下直接聚合(或分解（jiě）)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合（hé）過的（de）部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用（yòng）工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車（chē）削、鏡麵（miàn）磨（mó）削和研磨等。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左（zuǒ）右，常用於（yú）加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵（miàn）的反射鏡等高精度、外（wài）表高度光潔（jié）的零件。例如加工核聚變裝置用的（de）直（zhí）徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度（dù）可達0.1微米，外表粗糙（cāo）度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後以（yǐ）原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加（jiā）工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件（jiàn）加工的方法，即應用化（huà）學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合（hé）能，從而（ér）去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子（zǐ）注入、電子束曝射、激光束加工、金屬（shǔ）蒸鍍和分子束外（wài）延等。